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所謂等離子體是繼固體、氣體、液體三態後，列為物質的第四態，由正離子、負離子、電子和中性離子組成，因體係中正負電荷總數相等，故稱為“等離子體”。
等離子體按粒子溫度可分為平衡態（電子溫度=離子溫度）與非平衡態（電子溫度>>離子溫度）兩類。
非平衡態等離子體電子溫度可上萬度，離子及中性離子可低至室溫，即體係表觀溫度仍很低，故稱“低溫等離子體”，一般由氣體放電產生。
低溫等離子體技術是近年發展起來的廢氣處理新技術，低溫等離子體處理廢氣的原理為：當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解汙染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的汙染物作用，使汙染物分子在極短的時間內發生分解，以達到降解汙染物的目的。
在外加電場的作用下，介質放電產生的大量高能電子轟擊汙染物分子，使其電離、解離和激發，然後便引發了一係列複雜的物理、化學反應，使複雜大分子汙染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變為無毒無害或低毒低害物質，從而使汙染物得以降解去除。因其電離後產生的電子平均能量在1eV～10eV，適當控製反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。。電場的設計使廢氣粒子的運動速度較低，一般在零點幾秒內便能使廢氣粒子荷上足夠的電荷，帶電粒子在電場中會受到電場力（庫侖力）的作用，其結果是油煙粒子被吸附到陽極上。因此淨化率非常高，而且特別適用於捕捉粒徑較小和重量較輕的廢氣粒子。
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